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潔凈室靜電如何控制?

2019-08-13 瀏覽次數(shù):520

1、靜電控制的基本原則
(1)確定靜電控制級別。
(2)盡量減少靜電荷的產(chǎn)生。
(3)泄放和中和的辦法加速靜電荷消散,防止靜電積累。
(4)保護(hù)產(chǎn)品不受ESD的損壞。
2、確定靜電控制的級別
(1)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感度分級。
1級:易遭受0-1999V靜電電壓損壞的。
2級:易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的。
3級:易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的。而敏感靜電壓大于16000V的,便不必采取防靜電措施。
(2)靜電防護(hù)工作區(qū)的分級
A級:允許對地靜電電位不超過±100V。
B級:允許對地靜電電位不超過±1000V。
實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應(yīng)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感電壓的3級。
3、盡量減小靜電荷的產(chǎn)生
這是控制靜電三步曲的第一步,在這凈化工作環(huán)境中,最好的措施:
(1)盡量采用性質(zhì)相似器材,減少在接觸摩擦分離過程中產(chǎn)生靜電電荷。
(2)盡量采用導(dǎo)靜電型或靜電耗散型材料的器材,減少接觸摩擦分離過程產(chǎn)生積累靜電荷。
(3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。
4、泄放和中和
這是控制靜電三步曲的第二步,在微電子生產(chǎn)的凈化室中最通常的措施是接地,采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷,以及離子化消電器中和靜電荷。
(1)接地
潔凈室應(yīng)設(shè)一個獨立靜電接地系統(tǒng)(包括地面接地金屬網(wǎng)支系統(tǒng)、生產(chǎn)線工作站接地支系統(tǒng)),以便室內(nèi)所有設(shè)備金屬外殼、移動設(shè)備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地,以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔斷等是硬接地,設(shè)備外殼、移動設(shè)備(車、椅、貨架等)、工作臺等則屬軟接地。
(2)離子化肖電器
潔凈室中生產(chǎn)組裝的元器件、PCB,生產(chǎn)線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導(dǎo)體和絕緣介質(zhì)材料(例如大多數(shù)普通塑料)。在某些環(huán)境下,離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷,而更經(jīng)常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質(zhì)上和孤立導(dǎo)體上的所帶靜電電荷。
(3)導(dǎo)靜電和靜電耗散材料
導(dǎo)靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導(dǎo)靜電性,也是很好的靜電荷泄放材料,而且比金屬導(dǎo)體泄放更具有安全性,通常被采用做地板、墻面、工作臺、周轉(zhuǎn)容器、鑷子、刷子等防靜電器材。
5、防止ESD,保護(hù)產(chǎn)品
這是控制靜電的三步曲中最后一步。在微電子生產(chǎn)的凈化室中,為阻止ESD發(fā)生在靜電敏感元器件或組件、PCB上,一種方法是對元器件和組件提供合適的接地或分路以“消散”掉產(chǎn)品上存在的靜電荷;另一種方法是用恰當(dāng)?shù)陌b方法和材料來處理靜電敏感器件的包裝和輸運。這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產(chǎn)品以及減少產(chǎn)品在包裝箱中移動而產(chǎn)生靜電荷。國際上,半導(dǎo)體、平面液晶顯示器,光電子發(fā)展很快,集成度越來越高,芯片線徑越來越細(xì),對防靜電要求越來越高。美國ESD協(xié)會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電控制大綱,對SSD靜電敏感性分類已作了些修改。


 

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